CVD-ovn med fluidisert seng

Modell:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB er en CVD-ovn med fluidisert lag for pulveroverflateavsetning. Gass kommer inn i bunnen av kvartsrøret og passerer opp gjennom en porøs kvartsplate, og suspenderer pulveret inne i den 200 mm oppvarmede sonen . 1200 grad på under 1 time, 1150 grader kontinuerlig.

Sende bookingforespørsel

Chat nå

produkt introduksjon

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. er en av de mest pålitelige produsentene og leverandørene av cvd-ovn med fluidisert seng i Kina. Velkommen til å kjøpe cvd-ovn av høy kvalitet til konkurransedyktig pris fra vår fabrikk. Hvis du har spørsmål om samarbeid, vennligst send oss en e-post.

CVD-ovn med fluidisert seng

Spesifikasjon

Produktoversikt

TOB-1200-LTS-FB er en CVD-ovn med fluidisert sjikt bygget for pulveroverflateavsetningseksperimenter. Et høyrent kvartsrør bærer en porøs kvartsplate i den nedre delen; pulveret sitter på den platen, gass mates inn fra bunnen av røret, og den oppadgående strømmen gjennom platen løfter partiklene slik at de flyter inne i den oppvarmede sonen mens avsetningen finner sted.

Ovnen når 1200 grader på under 1 time og holder 1150 grader kontinuerlig, med en 200 mm varmesone og en 100 mm konstant temperatursone. Røret er tilgjengelig på Φ25mm eller Φ50mm med en lengde på 600mm, og den porøse platen er laget til den porestørrelsen pulveret ditt trenger. Et dobbeltlags skall med luftkjøling, en delt ovnskropp for rørskift, en kvartsrørbeskyttelse og en mekanisk trykkavlastningsventil er alle standard.

Nøkkeltekniske kjennetegn ved TOB-1200-LTS-FB

Formålsbygd for pulveravsetning:den porøse kvartsplaten og bunngassinnløpet eksisterer slik at partikler er suspendert i den oppvarmede sonen, ikke bare plassert i den.

Dobbeltlags skall med luftkjøling:den ytre huden forblir kjøligere enn en enkeltveggsovn med samme kammertemperatur.

Delt, åpningsbar ovnskropp:kroppen åpnes slik at kvartsrøret kan skiftes ut uten å demontere ovnen.

Kvartsrørbeskyttelse:et skjold rundt røret forhindrer skade hvis kvartsen går i stykker under vakuum eller termisk sjokk.

Mekanisk sikkerhetsventil:beskytter mot overtrykk hvis den porøse kvartsfilterplaten blir blokkert.

Alumina kammer med høytemperaturbelegg:høyrent aluminiumoksydfiberisolasjon med et USA-importert høytemperaturaluminabelegg på kammeroverflaten, for høyere oppvarmingseffektivitet og lengre kammerlevetid.

HRE-legerte varmeelementer:1200 grader tilgjengelig på under 1 time, 1150 grader kontinuerlig, ±1 grads nøyaktighet på et K-type termoelement.

Tetningsenhet i rustfritt stål:dobbel silikon O-ringflens som standard, med valgfrie pumpesett ned til 5 × 10⁻¹ Pa (mekanisk) eller 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Komplette spesifikasjoner

1. Ovnskropp og termiske spesifikasjoner

Parameter	Spesifikasjon
Utstyrskraft	110V 1,2KW
Kammermateriale	Høyrent aluminiumoksydfibermateriale
Varmeelement	HRE høytemperatur legeringstråd
Maks temperatur	1200 grader (på under 1 time)
Kontinuerlig temperatur	1150 grader (kontinuerlig)
Temperaturnøyaktighet	±1 grad
Termoelement	K-type termoelement
Maks oppvarmingshastighet	Mindre enn eller lik 20 grader /min
Kammerstørrelse	80 mm × 200 mm
Lengde for varmesone	200mm
Sonelengde med konstant temperatur	100mm

2. Kvartsrør og porøs plate

Parameter	Spesifikasjon
Rørstørrelse	Φ25 mm eller 50 mm × 600 mm
Rørmateriale	Høyrent spesiallaget kvartsrør
Porøs kvartsplate porestørrelse	4-550 μm, flere spesifikasjoner tilgjengelig og kan tilpasses

3. Vakuum og tetningssystem

Punkt	Spesifikasjon
Forseglingssystem	Standard: ett sett med dobbel silikon O-ring i rustfritt stål tetningsflensenhet, med mekanisk sikkerhetstrykkavlastningsventil og kvartsrørbeskyttelse
Vakuum, mekanisk pumpesett	5 × 10⁻¹ Pa (valgfritt)
Vakuum, turbopumpesett	5 × 10⁻³ Pa (valgfritt)

4. Dimensjoner, vekt og garanti

Punkt	Spesifikasjon
Ytre dimensjoner	510 mm × 430 mm × 1000 mm
Nettovekt	Omtrent 35 kg
Garanti	Ett års garanti, livstids teknisk support

5. Forbruksvarer og garantiunntak

Punkt	Detalj
Forbruksvarer ikke inkludert	Varmeelement, termoelement, prøvedigel og lignende forbruksdeler er ikke inkludert
Etsende og sure gasser	Skader forårsaket av bruk av etsende gasser og sure gasser dekkes ikke av garantien

Kontrollsystem

Kontrolleren kjører på et innebygd operativsystem med en 7-tommers berøringsskjerm i ekte farger. Fire funksjoner betyr noe for repeterbart pulver CVD-arbeid:

Funksjon	Detalj
Lagrede temperaturkurver	15 temperaturkurver kan forhåndslagres, slik at en annen eksperimentell prosess ikke må settes opp på nytt fra bunnen av
Innebygd operativsystem	Byttbart kinesisk/engelsk grafisk grensesnitt, 7-tommers berøringsskjerm i ekte farger, intelligent menneske-maskin-dialogmodus
Ikke-lineær temperaturkorreksjon	Ikke-lineær prøvetemperaturkorreksjon, for å bringe den viste verdien i tråd med den målte prøvetemperaturen
Planlagt start	Tilgjengelig som en valgfri funksjon, slik at en løpetur kan settes til å begynne på et valgt tidspunkt
Systembeskyttelse	Overtemperaturalarm, termoelementbruddindikasjon og lekkasjebeskyttelse

Skjermbildene nedenfor følger rekkefølgen på radene over: det lagrede kurvebiblioteket, kurveredigereren, det vekslebare grensesnittet, ikke-lineær korreksjon, planlagt start og de to beskyttelsesalarmene.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body